气浮定位运动装置以大理石平台为基座， 运用气浮导轨和电机控制技术， 配合激光干涉仪最大测量范围可达到 0-5m（任意长度可定制），在慢速运动情况下定位精度可达到 10nm,广泛应用于国防航天行业的产品检测。当定位精度在 2µm 情况下用直线电机控制气浮运动，最大速度可达到 5m/s，配备相应测量软件对机器进行控制，测量方便，用途广泛。